直流式雙電四探針測試儀
產(chǎn)品概述
直流式雙電四探針測試儀簡介:
采用四探針組合雙電測量方法,液晶顯示,自動測量,自動量程,自動系數(shù)補(bǔ)償.高集成電路系統(tǒng)、恒流輸出;選配:PC軟件進(jìn)行數(shù)據(jù)管理和處理.雙電測數(shù)字式四探針測試儀是運(yùn)用直線或方形四探針雙位測量。該儀器設(shè)計(jì)符合單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國A.S.T.M標(biāo)準(zhǔn)。利用電流探針、電壓探針的變換,進(jìn)行兩次電測量,對數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測分析,解決樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對測量結(jié)果的影響.
直流式雙電四探針測試儀參數(shù)特點(diǎn):
1. 便于查看的顯示/直觀的操作性:高亮度、超清晰4.3寸彩色LCD顯示;操作易學(xué),直觀使用;
2. 基本設(shè)置操作簡單,方阻、電阻、電阻率、電導(dǎo)率和分選結(jié)果;多種參數(shù)同時顯示。
3. 精度高:電阻基本準(zhǔn)確度: 0.05%;方阻基本準(zhǔn)確度:3%;電阻率基本準(zhǔn)確度:3%
4. 整機(jī)測量最大相對誤差:≤±3%;整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度:≤±3%
5. 四位半顯示讀數(shù);八量程自動或手動測試;
6. 測量范圍寬: 電阻:10-4Ω~105Ω ;方阻:10-4Ω/□~105Ω/□;
7. 正反向電流源修正測量電阻誤差
8. 恒流源:電流量程分為: 1uA、10uA、100uA、1mA、10mA 、100mA六檔;儀器配有恒流源開關(guān)可有效保護(hù)被測件,即先讓探針頭壓觸在被測材料上,后開恒流源開關(guān),避免接觸瞬間打火。為了提高工作效率,如探針帶電壓觸單晶對材料及測量并無影響時,恒流源開關(guān)可一直處于開的狀態(tài)。
9. 可配合多種探頭進(jìn)行測試;也可配合多種測試臺進(jìn)行測試。
10. 校正功能:可手動或自動選擇測試量程 全量程自動清零。
11. 厚度可預(yù)設(shè),自動修正樣品的電阻率,無需查表即可計(jì)算出電阻率。
12. 自動進(jìn)行電流換向,并進(jìn)行正反向電流下的電阻率(或方塊電阻)測量,顯示平均值.測薄片時,可自動進(jìn)行厚度修正。
13. 雙電測測試模式,測量精度高、穩(wěn)定性好.
14. 具備溫度補(bǔ)償功能,修正被測材料溫漂帶來的測試結(jié)果偏差。
15. 比較器判斷燈直接顯示,勿需查看屏幕,作業(yè)效率得以提高。
3檔分選功能:超上限,合格,超下限,可對被測件進(jìn)行HI/LOW判斷,可直接在LCD使用標(biāo)志顯示;也可通過USB接口、RS232接口輸出更為詳細(xì)的分選結(jié)果。
16. 測試模式:可連接電腦測試、也可不連接電腦單機(jī)測試。
17. 豐富的接口,Handler接口、RS232接口、USB HOST、USB DEVICE。實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制。U盤可記錄測試數(shù)據(jù)
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